冷场发射扫描电子显微镜

        该设备由真空系统、电子光学系统、二次电子探测器、背散射电子探头、附件和零部件等组成。其工作原理为利用冷场发射产生的电子束对材料表面进行扫描,并检测电子束激发表面产生的二次电子和背散射电子,确定样品表面的微观形貌。

 JSM-6700F-B

仪器名称  冷场发射扫描电子显微镜
仪器型号 JSM-6700F
生产厂家 日本电子
技术参数

二次电子像分辨率:1.0nm(15KV),2.2nm(1KV);
背散射电子像分辨率:3.0nm (15KV, WD=8mm);
放大倍数:×25 ~ ×650,000;
加速电压:0.5KV ~ 30KV;
束流:10-13A ~ 2×10-9A;
数字图像采集系统分辨率:1280×1024

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